中文简体
英语
西班牙语
德语
法语Контент
- 1 Начните с данных о чистоте, а не с цены
- 2 Сравните основные семейства материалов
- 3 Сопоставьте Wiper с классом ISO и технологической зоной.
- 4 Уплотнение кромок: маленькая деталь с большим эффектом
- 5 Добавьте контроль электростатического разряда там, где статика представляет собой риск
- 6 Проверьте поставщика, прежде чем брать на себя обязательства
- 7 Часто задаваемые вопросы
- 7.1 Могу ли я использовать одну и ту же протирку для литографии и обслуживания вспомогательного оборудования?
- 7.2 Является ли более высокая цена признаком лучшей чистоты?
- 7.3 Нужны ли мне стерильные салфетки в чистом помещении, где используются полупроводники?
- 7.4 Как часто мне следует проходить повторную квалификацию после смены поставщика?
- 8 Принятие окончательного решения
Инженер-технолог на заводе по производству пластин диаметром 200 мм однажды заметил внезапное падение производительности матрицы из-за рулона гидропереплетенных нетканых салфеток, используемых на литографической дорожке. Салфетки выглядели чистыми и мягкими, но количество частиц жидкости выявило проблему. В производстве полупроводников протирочные материалы для чистых помещений не являются товаром; это технологические расходные материалы, которые непосредственно контролируют загрязнение частицами, ионами и органическими веществами на поверхностях, соприкасающихся с пластиной.
Короткий ответ на вопрос выбора таков: сопоставьте материал протирочного материала с классом ISO вашего чистого помещения, этапом процесса и химическим составом очистки, а затем проверьте каждую поступающую партию на основе данных о частицах и извлекаемых материалах. Не выбирайте только по бренду, цвету или цене за упаковку.
Начните с данных о чистоте, а не с цены
Геометрия полупроводников теперь достигает диапазона малых нанометров, и одна частица, размер которой превышает критический размер дефекта, может разрушить кристалл. Обычные магазинные полотенца или промышленные салфетки неприемлемы вблизи пластин, поскольку они теряют волокна, выделяют ионные остатки и оставляют нелетучие остатки после испарения растворителя.
Четыре показателя определяют скребок полупроводникового класса:
- APC (количество частиц в воздухе): частицы размером 0,5 мкм и более и 5,0 мкм и более, выбрасываемые в воздух, обычно регистрируются на квадратный метр. Ниже лучше.
- LPC (количество жидких частиц): частицы, попавшие в деионизированную воду или IPA, в расчете на миллилитр. Это наиболее прямой показатель загрязнения при протирании растворителем.
- Ионные экстрагируемые вещества: хлорид, натрий, калий, сульфат и другие ионы в ppm. Эти ионы могут вызывать коррозию и сдвиги порогового напряжения в устройствах.
- NVR (нелетучий остаток): остаток, оставшийся после испарения растворителя, указывается в мг на грамм салфетки. Высокий NVR оставляет дымку на оптике и пластинах.
В приведенной ниже таблице показаны типичные относительные уровни частиц в воздухе для распространенных семейств материалов стеклоочистителей. Значения являются иллюстративными для сравнения; Всегда запрашивайте действительный отчет об испытаниях у своего поставщика.
Салфетки из нетканого материала выделяют на порядок больше частиц, чем трикотажные полиэфирные; держите их подальше от ступенек, прилегающих к пластинам.
Сравните основные семейства материалов
Тканые, трикотажные и нетканые салфетки представлены в каталогах для чистых помещений, но трикотажная конструкция является стандартом для критической очистки полупроводников. Трикотаж из полиэстера с непрерывными нитями выделяет гораздо меньше частиц, чем тканые или гидропереплетенные структуры, и он устойчив к растворителям и кислотам, используемым при обработке пластин.
| Семейство материалов | Типовая конструкция | Лучше всего подходит для | Основное ограничение |
|---|---|---|---|
| 100% полиэстер трикотаж | Непрерывная нить вязания, заклеенные края. | Очистка прилегающей к пластине поверхности, класс ISO 4–6 | Меньшая впитывающая способность, чем у микрофибры. |
| Субмикрофибра polyester | Тонкий трикотаж | Тонкопленочные остатки и маслянистые загрязнения | Проверьте совместимость с агрессивными растворителями. |
| Микрофибра 80/20 | Полиэстер/нейлон, разделенная микрофибра. | Поверхности инструментов и общая очистка фабрики | Нейлон может оставлять остатки, если качество плохое. |
| ЭСР трикотаж polyester | Полиэстер с проводящим волокном | Этапы процесса, чувствительные к статике | Немного более высокий уровень частиц, чем у простого трикотажа. |
| Гидропереплетенный нетканый материал | Смесь целлюлозы и полиэстера | Техническое обслуживание, подпроизводственные помещения, помещения без пластин | Высокая генерация частиц; держитесь подальше от вафельных зон |
При работе с пластинами наиболее безопасной отправной точкой является скребок с герметичными краями из 100% полиэстера. Такой продукт, как 1009LE стеклоочиститель для чистых помещений дает вам контролируемый базовый уровень; Наше производство салфеток осуществляется в чистых помещениях класса 5 и 6 по ISO, а техническая группа может предоставить отчеты о частицах и экстрагируемых веществах для квалификации.
Поставщики стеклоочистителей для чистых помещений на заказ 1009LE, завод OEM / ODM - Сучжоу Jujie Electron Suzhou Jujie Electron Co., Ltd является китайским OEM/ODM поставщиком стеклоочистителей для чистых помещений 1009LE и заводом по производству стеклоочистителей для чистых помещений 1009LE. Мы специализируемся на производстве стеклоочистителей для чистых помещений. Посмотреть продукт → Сопоставьте Wiper с классом ISO и технологической зоной.
Одна и та же фабрика может использовать три разных дворника в трех разных зонах. Правило простое: протирка должна быть чище, чем среда, в которой она используется, поскольку протирание может привести к повторному отложению частиц на поверхности.
- Класс ISO 4–5 (литография, травление, осаждение): используйте трикотаж из 100% полиэстера с запечатанными краями и документально подтвержденным LPC при толщине 0,5 мкм и выше. Никогда не используйте в этих зонах нетканые салфетки.
- Класс ISO 6 (колея, метрология, EFEM, грузовые порты): трикотаж из полиэстера или трикотаж ESD, в зависимости от статической чувствительности ступени.
- Класс ISO 7–8 (обслуживание оборудования, производственные помещения, помещения для переодевания): протирочные материалы из микрофибры или ткани позволяют снизить затраты, обеспечивая при этом надежную очистку.
При выполнении работ по удалению органических остатков с внешней поверхности инструмента в зонах класса 7 по ISO JW08522 Стеклоочиститель из микрофибры впитывает заметно больше жидкости по весу, чем стандартный трикотаж, что сокращает время чистки и снижает расход химикатов.
Изготовленные на заказ стеклоочистители из микрофибры JW-08522, завод OEM/ODM - Сучжоу Jujie Elect Компания Suzhou Jujie Electron Co., Ltd является китайским поставщиком стеклоочистителей из микрофибры OEM/ODM JW-08522 и фабрикой стеклоочистителей из микрофибры JW-08522. Мы специализируемся ... Посмотреть продукт → На приведенной ниже диаграмме показано, почему так важны техника и качество кромки. Хорошо приклеенный трикотажной дворник достигает низкого устойчивого состояния после нескольких движений; дворники с ультрасовременной кромкой сохраняют шелушение на более высоком уровне гораздо дольше.
Первые мазки всегда высвобождают больше всего частиц; запечатанный край снижает как пиковый, так и установившийся уровень.
Уплотнение кромок: маленькая деталь с большим эффектом
Обрезанные края являются основным источником рыхлых волокон в протирочных материалах для чистых помещений. Когда лезвие разрезает трикотажное полотно, оно раскрывает петли и оставляет концы нитей, которые могут оторваться во время вытирания. Герметизация края с помощью тепла, ультразвуковой сварки или лазерного плавления улавливает эти нити и не допускает их участия в процессе.
- Используйте лазерную или ультразвуковую герметизацию кромок для класса ISO 5 и более чистых применений.
- Убедитесь, что запечатанный край остается гибким; жесткий край может поцарапать оптику и полированные поверхности.
- Осмотрите кромку под увеличением во время квалификации и запросите данные о кромочных частицах.
Более подробно о том, почему выброс частиц происходит даже при хорошем дворнике, см. наш анализ того, почему стеклоочиститель для чистых помещений выделяет частицы во время протирания .
Добавьте контроль электростатического разряда там, где статика представляет собой риск
Стеклоочиститель может накапливать статический заряд при скольжении по поверхности. На производстве пластин этот заряд может повредить оксиды затвора или привлечь частицы из воздуха в ту самую область, которую вы чистите. Стеклоочистители ESD состоят из небольшого процента проводящего волокна, обычно полиэстера с содержанием углерода, который отводит заряд на землю, когда оператор заземлен через браслет и коврик.
Используйте очиститель ESD в зонах передачи пластин, портах загрузки, при работе с прицельной маркой, в метрологических инструментах и везде, где чувствительное устройство находится без поддержки.
Когда вы квалифицируете дворники для этих зон, включите в испытание класс ESD. Стеклоочиститель для чистых помещений ESD из той же серии можно сравнить со стандартным трикотажем по характеристикам затухания частиц и заряда.
Поставщики стеклоочистителей на заказ, завод OEM / ODM - Сучжоу Jujie Electron Co., Ltd Сучжоу Jujie Electron Co., Ltd является китайским поставщиком стеклоочистителей ESD OEM / ODM и заводом по производству стеклоочистителей ESD. Мы специализируемся на изготовлении стеклоочистителей на заказ и других пр ... Посмотреть продукт → Проверьте поставщика, прежде чем брать на себя обязательства
В паспорте данных указано только то, что измерял поставщик, а не то, что он контролирует. Поскольку скребок касается тех же поверхностей, что и пластина, реальным требованием является постоянство от партии к партии. Используйте этот контрольный список во время квалификации поставщика:
- Производство в чистых помещениях: протирочный материал следует выстирать, высушить, запечатать и упаковать в чистом помещении, по крайней мере таком же чистом, как и ваша собственная технологическая зона.
- Отслеживание партии: каждая партия должна иметь номер партии и отчет об испытаниях, охватывающий APC, LPC, ионные экстрагируемые вещества и NVR.
- Совместимость с растворителями: перед утверждением проверьте скребок на наличие IPA, ацетона и других химических веществ, которые вы используете.
- Целостность упаковки: минимум двойной полиэтиленовый пакет для чистых помещений; добавлять гамма-облучение только в том случае, если действительно требуется стерильность.
- Уведомление об изменении: попросите поставщика сообщить вам о любых изменениях в сырье, моющем средстве, методе резки или процессе запечатывания.
Если вы хотите превратить эти шаги в официальную спецификацию Wiper, свяжитесь с нашей командой по расходным материалам для чистых помещений с вашим классом ISO, чистящим растворителем и этапом процесса, и мы поможем вам подобрать марку скребка в соответствии с профилем риска.
Часто задаваемые вопросы
Могу ли я использовать одну и ту же протирку для литографии и обслуживания вспомогательного оборудования?
Нет. Держите дворники, обращенные к пластинам, отдельно от ремонтных дворников. Салфетки из нетканого материала с гидропереплетением подходят для полов и каркасов оборудования, но их нельзя использовать при литографии, травлении или в любых других областях, где подвергаются воздействию пластины.
Является ли более высокая цена признаком лучшей чистоты?
Не всегда. Цена часто отражает упаковку и позицию бренда. Судите о стеклоочистителе по частицам и извлекаемым данным, а не по цене; трикотаж из полиэстера с запечатанными краями средней цены может превзойти продукт премиум-класса в вашем конкретном химическом составе.
Нужны ли мне стерильные салфетки в чистом помещении, где используются полупроводники?
Стерильность не является главной проблемой на производстве вафель; количество частиц есть. Стерильные салфетки – это, прежде всего, требование к фармацевтическому и медицинскому оборудованию. Если вы все же выбрали стерильные салфетки, убедитесь, что метод стерилизации не ухудшает структуру вязаного материала и не увеличивает количество экстрагируемых веществ.
Как часто мне следует проходить повторную квалификацию после смены поставщика?
Проходите повторную квалификацию всякий раз, когда поставщик меняет сырье, конструкцию, герметик кромок, моющее средство или упаковочную линию. Даже изменение качества промывочной воды может значительно изменить содержание ионных экстрагируемых веществ. Документированная повторная квалификация защищает процесс и создает контрольный журнал.
Принятие окончательного решения
Правильный протирочный материал для чистых помещений для производства полупроводников — это тот, который соответствует вашим технологическим ограничениям по частицам, ионам и остаткам, соответствует классу зоны по ISO, устойчив к химическим чистящим средствам и поставляется от поставщика, который может доказать стабильность качества от партии к партии. Выбирайте герметичные края, где волокна представляют опасность, и конструкцию ESD, где существует риск статического электричества. В рамках вышеизложенной схемы покупка стеклоочистителей становится контролируемым процессом, а не рутинной покупкой.
